DFL7262
レーザソー
フルオートマチック
Φ300 mmウェーハ対応
アブレーション
ディスコの装置
DFL7161
レーザソー
フルオートマチック
Φ300 mmウェーハ対応
アブレーション
DFL7160
レーザソー
フルオートマチック
Φ300 mmウェーハ対応
アブレーション
DFD6363
ダイシングソー
フルオートマチック
Φ300 mmウェーハ対応
フェイシングデュアルスピンドル
DFD6362
ダイシングソー
フルオートマチック
Φ300 mmウェーハ対応
フェイシングデュアルスピンドル
DGP8762
グラインダポリッシャ
フルオートマチック
Φ300 mmウェーハ対応
3軸4チャックテーブル
DMM9200
ウェーハマウンタ
フルオートマチック
Φ300 mmウェーハ対応
※DMM9200はMUSUBI装置の一部です
DDS2300
ダイセパレータ
フルオートマチック
Φ300 mmウェーハ対応
DWR1722
純水リサイクル装置
多機能、超小型のダイシングソー用純水リサイクル装置
DIS100
インスペクションシステム
フルオートマチック
Φ300 mmウェーハ対応
ディスコのソリューション
その他の設備
DR3000IV
保護テープ貼り付け装置
Nitto製
バックグラインド用
フルオートマチック
Φ300 mmウェーハ対応
レーザ顕微鏡
KEYENCE製
金属顕微鏡
Nikon製
厚み測定器
Mitsutoyo製
施設案内
中工程リサーチセンター
グラインディングやダイシング工程を「中工程」と位置づけ、株式会社ディスコが2023年7月に開所した施設。
品質と歩留まりを左右する領域の高度化に向け、自動化による品質向上と負担軽減に取り組んでおり、KKMFはこの設備を活用し受託加工を担っています。
